Selon une annonce de Shanghai On-chip Micro-Device Technology Co., Ltd. (appelée « On-chip Micro-Device » ou « AMIES »), la société a organisé hier une cérémonie de livraison de sa 500ème machine de lithographie pas à pas, ce qui a marqué un nouveau niveau pour l'industrie chinoise des équipements semi-conducteurs haut de gamme.
Le micro-assemblage sur puce indique que la machine de lithographie d'emballage avancée est le produit phare d'AMIES. Il possède des fonctionnalités importantes telles qu'une haute résolution, une précision de superposition élevée et un champ de vision d'exposition ultra-large. Il dispose de puissantes capacités de déformation et de traitement de colle épaisse, et peut configurer l'équipement de manière flexible en fonction des besoins spécifiques des clients en matière de processus.
Ce type de produit peut répondre aux exigences des technologies d'emballage avancées telles que Flip-chip, Fan-in, Fan-out WLP/PLP, 2.5D/3D, etc., et a été hautement reconnu par le marché. La part de marché mondiale actuelle a atteint 35 % et la part de marché intérieur a atteint 90 %.
La 500ème machine de lithographie pas à pas expédiée cette fois sera livrée à Shenghejing Micro Semiconductor (Jiangyin) Co., Ltd. Shenghe Jingwei et AMIES disposent d'une bonne base de coopération. Shenghe Jingwei a exprimé sa volonté d'approfondir davantage sa coopération stratégique avec AMIES et de promouvoir conjointement l'innovation technologique d'emballage avancée et le développement industriel.
Selon les données, Chip-on-chip Micro-Device a été créée le 8 février 2025. Il s'agit d'une entreprise technologique innovante axée sur la recherche et le développement, la production et le service d'équipements semi-conducteurs haut de gamme. La société s'engage à fournir des équipements et des solutions de haute précision, hautes performances et haute fiabilité pour des domaines d'application tels que la fabrication de puces frontales IC, le conditionnement avancé au niveau des tranches/cartes, les semi-conducteurs composés et les nouveaux écrans.
Qu'est-ce qu'une machine de lithographie pas à pas (composée de trois parties : table de pièce, table de masque et système de mise au point et de mise à niveau) ? Il s'agit en fait d'un dispositif d'exposition par projection de haute précision (un équipement de base indispensable) pour la fabrication de circuits intégrés, un équipement de fabrication de semi-conducteurs qui permet un transfert de motifs à haute résolution grâce à la technologie de lithographie pas à pas. Sa fonction principale est de projeter le motif du masque sur la surface de la plaquette, champ par champ.
Le système optique de la machine de lithographie pas à pas, en tant que clé de sa technologie, couvre plusieurs composants essentiels tels que le système d'éclairage, l'objectif de projection et le masque. Le système optique comprend un éclairage, des objectifs de projection et un réticule, prenant en charge la haute résolution et les performances de la machine lithographique.
