Pendant longtemps, la technologie de lithographie EUV a été principalement utilisée pour créer les puces logiques et mémoires les plus puissantes.Cependant, le Centre belge de recherche en microélectronique (IMEC) a récemment utilisé avec succès pour la première fois l'équipement de lithographie EUV d'ASML pour réaliser une fabrication au niveau d'une tranche de nanopores à l'état solide sur une tranche de 300 mm.
Ce développement a été salué par le responsable des relations publiques d'ASML comme une « application biomédicale inattendue et exceptionnelle ».
Les soi-disant nanopores sont de minuscules trous d’un diamètre de quelques nanomètres seulement et leur finesse est d’environ un dix millième de cheveu humain. Dans le domaine de la biodétection, les nanopores fonctionnent comme des « points de contrôle moléculaires ».
Lorsque le courant ionique traverse le trou,Les molécules (telles que les virus, les protéines ou l’ADN) qu’elles contiennent produisent des signaux uniques pour le courant électrique. Sur la base de ces signaux électriques uniques, les scientifiques peuvent identifier la taille, la structure et la charge des molécules avec une sensibilité élevée.
Bien que les nanopores présentent un grand potentiel en génomique et en protéomique, leur production à grande échelle n’a pas été possible dans le passé en raison de la variabilité de la fabrication et des difficultés d’intégration.
La percée d'Imec consiste à utiliser la technologie EUV pour garantir un degré élevé de cohérence dans la taille des pores. Actuellement, la taille des pores a été réduite avec précision à environ 10 nanomètres, et elle devrait dépasser 5 nanomètres grâce à des améliorations de processus à l'avenir.
De plus, cette méthode est compatible avec le CMOS, ce qui signifie que les biocapteurs peuvent être produits en série sur des tranches de 300 mm, tout comme les puces.
Ashesh Ray Chaudhuri, chef de projet R&D d'Imec, a déclaré que l'application aux sciences de la vie de l'infrastructure EUV utilisée à l'origine pour la fabrication de puces a ouvert la porte à des réseaux de biocapteurs à haut débit.