Samsung Electronics développe son propre « système de capteurs intelligents » pour le contrôle et la gestion des processus de semi-conducteurs. Cette nouvelle technologie devrait améliorer le rendement des semi-conducteurs et augmenter la productivité. Selon ETNews, Samsung Electronics a commencé la recherche et le développement internes de systèmes de capteurs intelligents, qui devraient être utilisés à l'avenir dans les processus de conduite autonome et de fabrication de semi-conducteurs d'intelligence artificielle. Le projet devrait se poursuivre en collaboration avec les partenaires concernés et le monde universitaire.
La mesure et la gestion précises des conditions du plasma sont considérées comme l'une des tâches importantes du processus de production de semi-conducteurs, car ce n'est qu'en contrôlant avec précision l'uniformité et la densité du plasma pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs que les rendements des semi-conducteurs peuvent être améliorés et garantis.
Le « système de capteurs intelligents » peut être utilisé pour mesurer l'uniformité du plasma de tranche, mesurer et gérer avec précision les performances du processus de gravure, de dépôt et de nettoyage,
la société
De plus, les capteurs intelligents développés par Samsung Electronics seraient ultra-petits et n’auraient pas beaucoup d’impact sur l’espace des équipements existants. Cela signifie aussi
Samsung Electronics prévoit également de
La décision ci-dessus constitue la tentative de Samsung de créer un système de production de semi-conducteurs intelligent.